半導体・液晶製造装置用真空排気ガスフィルター 「マルチコレクター」
半導体製造装置の真空排気系では、生成物質により配管が短期間で閉塞、マルチコレクターは、長期間の安定操業を可能にしました。
タイヨーテクノ（株）
●マルチコレクタ内で反応生成物を成長促進させます。
●捕捉面積の大きなプリーツ状カートリッジを採用しています。
・長期間メンテナンスフリーを実現。
●カートリッジは、電着効果を持たせていますので、サブミクロンの粒子も逃しません。
・マルチトコレクターの後段の配管のメンテナンスは、長期間不要。
●PCVD装置、エッチング装置、イオン注入装置のドライ真空ポンプ前段又は後段に設置し、真空排気系のトラブルを低減します。
●冷却ユニットを設置する事により、生成物を強制析出させ、カラムライフを飛躍的に延ばします。
