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油圧・空圧機器

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半導体・液晶製造装置用真空排気ガスフィルター 「マルチコレクター」

半導体・液晶製造装置用真空排気ガスフィルター 「マルチコレクター」
 
半導体製造装置の真空排気系では、生成物質により配管が短期間で閉塞、マルチコレクターは、長期間の安定操業を可能にしました。
メーカー タイヨーテクノ(株)

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