ナノファインステージ（Nano Cube、Micro Cube）
ナノファインステージは従来の精密ステージを見直し、更に精度・送りピッチを微細にまとめたステージシリーズで、大別して Nano Cube と Micro Cube の2つに分類できます。文字通り Nano Cube は超微細計測・加工を目指した位置決め機構で、その移動には変異拡大機構と圧電素子(ピエゾ素子)を組み合わせ更に内部に変異センサーを内蔵させコントローラを介してフィードバック制御が可能です。
シグマサイバーテック（株）
● 圧電素子駆動による小型微動ステージです。
● ノーマルタイプ（Nタイプ）歪みゲージセンサタイプ（Sタイプ）静電容量センサタイプ（Cタイプ）の3タイプを標準化
● 小型微動ステージから300μmの長ストロークをラインナップ・NS201:□40mmの小型タイプ・NS301:□60mmの標準タイプ・NS304:40×60の精密タイプ・NS441:長ストローク300μmタイプ（ 順次バリエーションを追加します)
